РИД
№ АААА-Г16-616120210051-7Способ изготовления Т-образного затвора
02.12.2016
Изобретение относится к технологии формирования Т-образных металлических затворов транзисторов различного типа (например, полевых с затвором Шоттки или МДП-затвором), предназначенных для работы в диапазонах СВЧ и выше, а также при создании монолитных интегральных схем (МИС), включающих подобные элементы.
ГРНТИ
47.47.29 Радиопередающие устройства
Ключевые слова
Т-ЗАТВОР
ГЕТЕРОСТРУКТУРА
ЗАТВОР ШОТТКИ
МДП-ЗАТВОР
Детали
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ИНСТИТУТ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ ИМЕНИ В.Г. МОКЕРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Заказчик
Федеральное агентство научных организаций
Похожие документы
Способ изготовления Т-образного затвора с использованием ограничительного элемента
0.959
РИД
Способ изготовления Т-образного гальванического затвора в высокочастотном полевом транзисторе
0.937
РИД
Способ формирования Т-образного затвора
0.931
РИД
Способ формирования субмикронного Т-образного затвора
0.929
РИД
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ДВОЙНОГО Т-ОБРАЗНОГО ЗАТВОРА С ПОЛЕВЫМИ ЭЛЕКТРОДАМИ ДЛЯ СВЧ ТРАНЗИСТОРА НА ОСНОВЕ НИТРИДА ГАЛЛИЯ
0.883
РИД
Способ изготовления биполярного транзистора с туннельным эмиттером
0.875
РИД
Разработка физико-технологических основ формирования Т - образных затворов с длиной основания 250 нм и менее для СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов
0.874
ИКРБС
СПОСОБ СОЗДАНИЯ ЗАТВОРНОГО УЗЛА ДЛЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ НИТРИДА ГАЛЛИЯ СО СВЕРХТОНКИМ БАРЬЕРНЫМ СЛОЕМ
0.870
РИД
Способ изготовления высокочастотного транзистора с дополнительным активным полевым электродом
0.866
РИД
Способ изготовления мощного нитрид-галлиевого полевого транзистора
0.863
РИД