РИД
№ АААА-Г17-617030110078-6

Способ сращивания изделий из поликристаллических алмазов в СВЧ плазме

01.03.2017

Изобретение относится к способам получения монолитных соединений стержней из поликристаллических алмазов, предназначенных для использования в производстве приборов электроники, оптики, СВЧ техники, в частности, для изготовления диэлектрических опор в лампах бегущей волны (ЛБВ), использующих низкий коэффициент поглощения на частотах генерации. Монолитное соединение создается методом одновременного эпитаксиального роста CVD слоев на промежуточной монокристаллической алмазной подложке (ПМАП) и встречно растущих слоев на гранях ПМАП и сращиваемых торцах ПКА перпендикулярно направлению оси соединения, при этом торцы выполнены со скосами равными половине угла раскрытия монолитного неразъемного соединения α(°). Способ предназначен для экономии затрат времени и средств на выращивание заготовок большого размера и замене их менее дорогостоящими заготовками меньшего размера и удовлетворяющих требованиям вырезки из них элементов стержней опор для ЛБВ приобретающих нужную длину после сращивания.
ГРНТИ
29.27.51 Применение плазмы
29.19.33 Диэлектрики
29.19.04 Структура твердых тел
Ключевые слова
ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ АЛМАЗ
ПОЛУЧЕНИЯ МОНОЛИТНЫХ СОЕДИНЕНИЙ
СВЧ ТЕХНИКА
ЭПИТАКСИАЛЬНЫЙ CVD РОСТА
Детали

НИОКТР
№ 114120170002
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации