РИД
№ АААА-Г17-617030110078-6Способ сращивания изделий из поликристаллических алмазов в СВЧ плазме
01.03.2017
Изобретение относится к способам получения монолитных соединений стержней из поликристаллических алмазов, предназначенных для использования в производстве приборов электроники, оптики, СВЧ техники, в частности, для изготовления диэлектрических опор в лампах бегущей волны (ЛБВ), использующих низкий коэффициент поглощения на частотах генерации. Монолитное соединение создается методом одновременного эпитаксиального роста CVD слоев на промежуточной монокристаллической алмазной подложке (ПМАП) и встречно растущих слоев на гранях ПМАП и сращиваемых торцах ПКА перпендикулярно направлению оси соединения, при этом торцы выполнены со скосами равными половине угла раскрытия монолитного неразъемного соединения α(°). Способ предназначен для экономии затрат времени и средств на выращивание заготовок большого размера и замене их менее дорогостоящими заготовками меньшего размера и удовлетворяющих требованиям вырезки из них элементов стержней опор для ЛБВ приобретающих нужную длину после сращивания.
ГРНТИ
29.27.51 Применение плазмы
29.19.33 Диэлектрики
29.19.04 Структура твердых тел
Ключевые слова
ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ АЛМАЗ
ПОЛУЧЕНИЯ МОНОЛИТНЫХ СОЕДИНЕНИЙ
СВЧ ТЕХНИКА
ЭПИТАКСИАЛЬНЫЙ CVD РОСТА
Детали
НИОКТР
№ 114120170002
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Способ группового роста монокристаллов алмаза в СВЧ плазме
0.906
РИД
Способ соединения монокристалла алмаза с металлами
0.897
РИД
Аддитивный способ получения габаритных изделий из токопроводящей керамики методом искрового плазменного спекания
0.892
РИД
СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ АЛМАЗНЫХ ПЛЁНОК ИЗ ТЕРМИЧЕСКИ АКТИВИРОВАННОЙ СМЕСИ ГАЗОВ И РЕАКТОР ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ
0.887
Промышленная инновация
Способ многопозиционого плазмохимического синтеза монокристаллов алмаза
0.886
РИД
Способ увеличения размеров алмазов
0.886
РИД
Способ получения легированного алмаза
0.886
РИД
Способ получения поликристаллических алмазных пленок
0.884
РИД
Способ непрерывного выращивания полупроводниковых пленок алмаза
0.884
РИД
Способ создания износостойкого поликристаллического алмазного покрытия
0.882
РИД