Способ измерения наноперемещений

23.05.2017

Изобретение относится к области прецизионной контрольно-измерительной техники, может быть использовано для определения микро- и нанометровых перемещений с высокой точностью, может найти широкое применение в точном машиностроении и электронной технике. Техническая проблема заключается в расширении диапазона измеряемых перемещений и повышении точности проводимых измерений. Технический результат заключается в значительном повышении точности измерения перемещений микро- и нанометрового диапазона.

ГРНТИ

47.14.13 Проектирование и конструирование изделий электронной техники СВЧ-диапазона

29.35.47 Твердотельные приборы СВЧ-диапазона

47.13.10 Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона

Ключевые слова

МИКРО- И НАНОМЕТРОВЫЕ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117030310255-4

Тип РИД

Изобретение

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского"

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Похожие документы

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ АБСОЛЮТНОГО РАССТОЯНИЯ

0.871

РИД

Исследование и разработка систем нанопозиционирования и активной виброизоляции для нано- и микроэлектроники (промежуточный, этап 2)

0.867

ИКРБС

Разработка устройств для нанометрических измерений размеров в режиме реального времени на объектах точного машиностроения

0.860

НИОКТР