Исследование и разработка систем нанопозиционирования и активной виброизоляции для нано- и микроэлектроники (промежуточный, этап 1)

Объект исследования: нанопозиционирующие и активные виброизолирующие системы для оборудования микро- и наноэлектроники, динамические модели и методы управления нанопозиционирующими и активными виброизолирующими устройствами. Цель: повышение точности и динамики наноперемещений, эффективности подавления колебаний систем нанопозиционирования и активной виброизоляции для микро- и наноэлектроники. Проведены: аналитический обзор информационных источников по указанной тематике; патентные исследования нанопозиционирующих и активных виброизолирующих систем по ГОСТ 15.011-96. Разработаны: динамические модели нанопозиционирующих и активных виброизолирующих устройств; методы управления точностными, динамическими и амплитудно-частотными характеристиками сверхпрецизионного привода и активного демпфера.