Рентгенофлуоресцентный проволочный сканер профилей пучков ионизирующих излучений

Полезная модель относится к ускорительной технике и может быть использована для измерения параметров пучков ионизирующих излучений: поперечных размеров, поперечных профилей, положения, расходимости, эмиттанса. Рентгенофлуоресцентный проволочный сканер профилей пучков ионизирующих излучений включает сканирующие элементы выполненные в виде множества сканирующих проволочек из разных материалов, закрепленных на держателе с помощью зажимов, а средством для перемещения является линейный транслятор, перемещающий устройство в поперечном к оси пучка направлении, причем детектор, измеряющий спектры характеристического рентгеновского излучения, распространяющегося изотропно, является энергодисперсионным. Сканер найдет применение в ускорителях заряженных частиц; в электронных, протонных и ионных микроскопах; в системах электронной и ионной литографии; в установках ионной имплантации; в системах, содержащих источники нейтральных атомов, молекул, рентгеновского и гамма-излучения.