Способ мониторинга электронно-пучковой технологии поверхностного легирования и термообработки в вакуумных камерах

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к получению износо- и коррозионностойких покрытий, и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ассортимента деталей машин. Технический результат заключается в повышении точности настройки аппаратуры, определяющей параметры импульсов электронного пучка воздействующего на объект, и обеспечении производительности электронно-пучковой обработки и достигается тем, что в способе мониторинга структурных, фазовых и химических преобразований в приповерхностном слое обрабатываемых объектов в вакуумных камерах под воздействием электронно-пучковых импульсов, заключающемся в том, что к обрабатываемому объекту присоединяют волновод, выходящий за пределы вакуумной камеры через вакуумный ввод, на волноводе закрепляют датчик колебаний, информация с которого обрабатывается с помощью компьютера, в качестве волновода используют гибкую проволоку, в качестве датчика колебаний используют акселерометр с частотной характ