Способ получения многослойного покрытия

Изобретение относится к способам получения многослойных покрытий и может быть использовано в машиностроительной, добывающей и перерабатывающей областях промышленности, инструментальном и ремонтном производствах. Осуществляют ионную очистку подложки с ее нагревом со скоростью 70 К/мин до температуры 650 К. Наносят на подложку нижний слой титана Ti в среде инертного газа с окончательной температурой покрытия после осаждения 615÷630 К. Затем в газовой смеси аргона и азота с содержанием азота в количестве не менее 90% наносят чередующиеся слои двухкомпонентного нитрида титана TiN с поликристаллической структурой и двухкомпонентного нитрида титана TiN с нанокристаллической структурой. Слой TiN с поликристаллической структурой наносят при постепенном увеличении температуры покрытия до 645÷675 К со скоростью его нагрева 3,2÷4,4 K/мин. Слой TiN с нанокристаллической структурой наносят при постепенном увеличении температуры покрытия до 695÷725 К со скоростью нагрева 3,7 К/мин.