Способ плазменного упрочнения внутренней цилиндрической поверхности

Изделие размещают в вакуумной камере, затем подают аргон и проводят предварительную обработку поверхности импульсно-периодическим аномальным тлеющим разрядом, после которой осуществляют нагрев изделия до температуры свыше 150°С посредством системы дополнительного нагрева. Проводят напуск рабочего газа до давления 0,5-5,0 Торр. Используют для стали смесь водорода и азота или смесь водорода, азота и аргона, а для титана и его сплавов – смесь аргона и азота или смесь гелия и азота. Выполняют азотирование в плазме импульсно-периодического аномального тлеющего разряда с полым катодом с нагревом поверхности изделия из стали до 400-650°С, а изделия из титана и его сплава до 400-900°С посредством системы дополнительного нагрева. Затем осуществляют подачу в вакуумную камеру азота и охлаждают изделие до температуры 25°С в атмосфере азота при давлении 800 Торр. Способ обеспечивает повышение твердости и коррозионной стойкости деталей с внутренней цилиндрической поверхностью диаметром от 3 мм.