Способ упрочнения стального изделия ионно-плазменной карбонитрацией

Способ упрочнения стального изделия ионно-плазменной карбонитрацией включает помещение обрабатываемого изделия в вакуумную камеру, обеспечение предварительного разрежения путем откачки воздуха, подачу в вакуумную камеру технологической газовой смеси, генерирование плазмы, содержащей ионы азота и углерода, с возбуждением тлеющего разряда и обработку изделий в полученной плазме. Откачку воздуха проводят до давления 5 Па, подачу технологической газовой смеси осуществляют до обеспечения давления в вакуумной камере, составляющего 20-50 Па. Упомянутая технологическая газовая смесь содержит компоненты при следующем соотношении, мас. %: аргон 25-50, азот 25-50, углекислый газ 25-50. После упомянутых операций осуществляют резистивный нагрев обрабатываемого изделия, а упомянутую плазму генерируют посредством высокочастотного электрического поля с частотой 13,6 МГц.