РИД
№ АААА-Г19-619040290013-9Зонд для атомно-силовой микроскопии высокого разрешения
02.04.2019
Полезная модель относится к устройствам сканирующего зонда. Технический результат полезной модели – увеличение эффективной жесткости и прочности на кручение зонда, увеличение разрешающей способности зонда кантилевера и снижение емкостного взаимодействия между балкой и поверхностью. Результат достигнут использованием конструкции кантилевера, в котором нижняя сторона кремниевой балки покрыта слоем золота, острие катилевера выполнено из углерода и состоит из шести цилиндрических сегментов суммарной длиной 1,4 мкм, причем длина последнего сегмента составляет 0,7 мкм с радиусом закругления 30-40 нм.
ГРНТИ
47.13.09 Технология и оборудование для производства электровакуумных и газоразрядных приборов
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.33 Электронно-ионноплазменные технологии электронного производства
Ключевые слова
ЗОНД
АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
КАНТИЛЕВЕР
НАНОТЕХНОЛОГИИ
Детали
НИОКТР
№ 114090340011
Тип РИД
Полезная модель
Сферы применения
Разработка устройств сканирующего зонда
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Зонд для атомно-силовой нанолитографии
0.919
РИД
Устройство для изготовления зондирующих игл сканирующего туннельного микроскопа
0.901
РИД
Разработка методов модификации экспериментальных образцов кантилеверов для повышения функциональных возможностей атомно-силовой микроскопи
0.898
НИОКТР
Способ изготовления апертурных зондов для ближнепольной оптической микроскопии
0.892
РИД
Наноструктурированные зонды для сканирующей силовой микроскопии: создание, исследование, применение
0.891
Диссертация
Зонд ближнепольного оптического микроскопа
0.889
РИД
2.1 Отработка операций модификации кантилеверов для уменьшения радиуса закругления острия и увеличения аспектного соотношения с использованием ионного луча.
2.2 Разработка эскизной конструкторской документации на экспериментальный образец модифицированного кантилевера с уменьшенным радиусом закругления острия
2.3 Анализ результатов отработки операций и корректировка технологического маршрута изготовления модифицированных кантилеверов на аналитическом оборудовании ЦКП
2.4 Разработка программы и методики проведения испытаний технологического процесса изготовления экспериментальных образцов кантилеверов с уменьшенным радиусом закругления острия
2.5 Проведение испытаний технологического процесса изготовления модифицированных кантилеверов с уменьшенным радиусом закругления острия
0.888
ИКРБС
Устройство для измерений упругих, термоупругих характеристик материалов на атомно-силовом микроскопе
0.885
РИД
Зонд сканирующего микроскопа.
0.885
Промышленная инновация
Особенности использования СЗМ-зондов в нанодиагностике
0.883
Диссертация