Способ изготовления алмазной дифракционной решетки

13.06.2019

Способ включает в себя формирование заданной периодической микроструктуры на поверхности полированного алмаза с помощью имплантации ионами бора с энергией 10-100 кэВ, дозой облучения 1⋅1015-1.0⋅1020 ион/см2 через поверхностную маску. Технический результат заключается в обеспечении возможности изготовления алмазных дифракционных решеток при помощи непрерывной имплантации ионами бора.

ГРНТИ

29.19.37 Теория магнитных свойств твердых тел

29.19.29 Сверхпроводники

29.31.27 Взаимодействие оптического излучения с веществом

29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры

Ключевые слова

АЛМАЗНАЯ ДИФРАКЦИОННАЯ РЕШЕТКА

ИОНЫ БОРА

СПОСОБ ЗОНДИРОВАНИЯ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ

Детали

НИОКТР

№ АААА-А18-118030690040-8

Тип РИД

Изобретение

Сферы применения

Предложена новая методика формирования оптических дифракционных элементов на поверхности алмаза, основанная на имплантации алмаза ионами бора через маску.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КАЗАНСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"

Заказчик

Федеральное агентство научных организаций

Похожие документы

Алмазная дифракционная решетка

0.917

РИД

Способ получения поликристаллических алмазных пленок

0.909