Reticle Mapper

Объектом программы являются координаты границ блоков CAD топологии фотошаблона. Программа предназначена для обеспечения помощи в создании карты раскроя подложки, при подготовке задания на экспонирование в установках проекционной литографии Nikon NSR-2205i12D (и других совместимых по управлению установок). В программе реализуется конвертация координат границ экспонируемых блоков из системы координат CAD топологии фотошаблона в систему координат экспонируемой подложки. В программе реализована возможность формирования сложных составных блоков на основе разных участков CAD топологии фотошаблона. Также программа позволяет провести оценку минимально достижимого рассовмещения на подложке между двумя экспонируемыми блоками на фотошаблоне. Результаты выполнения программы могут быть сохранены на диск в формате текстовых файлов или в виде графических файлов форматов *.png, *.jpg, *.bmp, *.wmf. Программа написана в интегрированной среде разработки MS Visual Studio на языке VB.NET.