ВОЛНОВОДНЫЙ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫЙ ОДНОФОТОННЫЙ ДЕТЕКТОР С УЛУЧШЕННОЙ ТОПОЛОГИЕЙ

Полезная модель относится к устройствам регистрации ультра слабых потоков фотонов видимого и инфракрасного диапазона длин волн в системах интегральной квантовой оптики и нано- и радиофотоники с высоким временным разрешением. Устройство выполнено на подложке из кремния с термическим оксидом. Сверху подложки сформированы два волновода из нитрида кремния, расположенные на расстоянии d друг от друга. На вершине одного из волноводов сформирован нанопровод из нитрида ниобия толщиной 4 нм. Свет вводится в первый волновод и в момент приближения ко второму волноводу туннелирует в него. Туннелируемый свет поглощается прямым верхпроводниковым нанопроводом, что приводит к формированию импульса напряжения на каждый поглощенный фотон. Техническим результатом улучшенной топологии является увеличение эффективности детектирования, улучшение отношение сигнал/шум, улучшение временного разрешения, уменьшение эквивалентной мощности шума, а также увеличение системной эффективности детектирования.