РИД
№ АААА-Г20-620112690042-5Регламент реактивного ионного травления алмаза
26.11.2020
Регламент реактивного ионного травление алмаза
ГРНТИ
29.31.15 Излучение и волновая оптика
90.27.37 Оптические и оптико-физические измерения
29.31.01 Общие вопросы
Ключевые слова
ТРАВЛЕНИЕ
регламент
алмаз
Детали
Тип РИД
Секрет производства (ноу хау)
Сферы применения
общие вопросы оптики
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений"
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Регламент глубокого анизотропного реактивного ионного травления алмаза
0.955
РИД
Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления
0.878
Диссертация
Обеспечение проведения научных исследований. Исследование процессов реактивного ионного травления двуокиси кремния в полупроводниковых структурах
0.860
ИКРБС
Исследования возможностей методов термохимической обработки поверхности монокристаллических и поликристаллических пластин алмаза для обеспечения создания прецизионных планарных структур СВЧ-техники и твердотельной электроники
0.849
НИОКТР
Лазерно-стимулированные процессы на поверхности алмаза
0.843
Диссертация
Разработка метода отделения тонких пластин широкозонных полупроводниковых материалов, в том числе сверхтвердых, с использованием метода ионной имплантации
0.843
НИОКТР
Способ изготовления алмазной дифракционной решетки
0.841
РИД
СЧ НИР: Исследование возможности создания экспериментальной технологии для обеспечения прецизионной наноразмерной полировки поверхности на основе процесса термохимической обработки алмазных материалов в комбинации с плазмохимическими и ионно-лучевыми методами
0.839
НИОКТР
Наноабляция монокристаллических алмазов фемтосекундными лазерными импульсами
0.839
Диссертация
Высокодозовое ионно-лучевое и химическое модифицирование структуры и свойств углеродных материалов и композитов
0.839
Диссертация