Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии

30.12.2022

Программа предназначена для моделирования слоистых отражающих структур, расчёта изменения поляризации и восстановления параметров структур по экспериментальным данным метода эллипсометрии. Вычисление спектров отражения проводится матричным методом для двух компонент поляризации волны, данные представляются в виде спектров эллипсометрических углов Ψ и Δ. Отражающая структура может содержать произвольное число слоёв, данные об оптических константах которых загружаются из баз данных в текстовом формате. Неизвестные параметры слоёв восстанавливаются численным решением обратной задачи эллипсометрии. Разработка выполнена с применением оборудования ЦКП "ВТАН" НГУ, поддержана грантом МНВО РФ №075-15-2021-697. Язык программирования: MATLAB Система: OC Windows 10. Объём программы: 29 Кб.

ГРНТИ

29.03.45 Обработка данных физического эксперимента

29.03.31 Оптические методы измерения в физическом эксперименте

29.31.21 Оптика твердых тел

20.53.19 Средства обработки и поиска информации

Ключевые слова

СЛОИСТАЯ СТРУКТУРА

ПРЕЛОМЛЕНИЕ

ПОЛЯРИЗАЦИЯ

СВЕТ

ОТРАЖЕНИЕ

ПОГЛОЩЕНИЕ

ДИСПЕРСИЯ

ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ВОЛНА

ОПТИЧЕСКИЕ КОНСТАНТЫ

ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ

Детали

НИОКТР

№ 121102900132-0

Тип РИД

Программа для ЭВМ

Сферы применения

Способы использования – моделирование спектров отражения поляризованного и неполяризованного света под произвольным углом падения на слоистую структуру. Обработка экспериментальных данных методов эллипсометрии и рефлектометрии.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НОВОСИБИРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"

Заказчик

МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Похожие документы

Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях

0.923

РИД

Программный комплекс для расчёта полей температур осесимметричных прозрачных сред по интерферограммам

0.898

РИД

Расчет поляризационных свойств линейных фазовых пластинок из оптически анизотропных одноосных материалов

0.895

РИД