Плазменный источник электронов с системой автоматического поджига тлеющего разряда в полом катоде, функционирующий в среднем вакууме

10.07.2023

Изобретение относится к технике получения стационарных (непрерывных) узкосфокусированных пучков электронов в диапазоне давлений среднего вакуума и может быть применено при разработке электронно-лучевых устройств, а также использовано в электроннолучевой технологии, экспериментальной физике, плазмохимической технологии

ГРНТИ

29.27.43 Газовый разряд

Ключевые слова

СРЕДНИЙ ВАКУУМ

ПЛАЗМА

ПОЛЫЙ КАТОД

ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД

ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ

Детали

НИОКТР

№ 121113000159-2

Тип РИД

Изобретение

Сферы применения

Изобретение может быть применено при разработке электронно-лучевых устройств, а также использовано в электроннолучевой технологии, экспериментальной физике, плазмохимической технологии

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"

Заказчик

МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Похожие документы

Плазменный источник электронов с системой автоматического поджига тлеющего разряда в полом катоде

0.995

РИД

Устройство для формирования плазменно-пучкового разряда

0.936

РИД

Форвакуумный плазменный источник ленточного пучка электронов, функционирующий в широком диапазоне рабочих давлений

0.928

РИД