КРЕМНИЕВЫЙ ФОТОУМНОЖИТЕЛЬ НЕПЛАНАРНОЙ КОНСТРУКЦИИ

ИМС – кремниевый фотоумножитель непланарной конструкции – является микропиксельным лавинным фотоприемником. ИМС предназначена для высокочувствительного детектирования ионизирующего излучения и малофотонных оптических сигналов. ИМС представляет собой матрицу фоточувствительных пикселей, подключенных параллельно. Каждый пиксель является лавинным фотодиодом, в котором лавинная область образована квазисферическим p-n переходом. Лавинные фотодиоды работают в гейгеровским режиме, ограниченном отрицательной обратной связью за счет падения напряжения на внутреннем гасящем резисторе. ИМС имеет следующие особенности: - спектральный диапазон по оптическим сигналам – 300 -950 нм, - коэффициент лавинного умножения – 105, - размер лавинного пикселя – 15 мкм, - размер матриц с гексагональной упаковкой пикселей – 1 пиксель, 3 пикселя, 7 пикселей, 0.12 х 0.12 мм2, 1.0 х 1.0 мм2 и 3.0 х 3.0 мм2. ИМС спроектирована для изготовления по стандартной КМОП-технологии с проектными нормами 1.5 мкм с использованием дополнительного процесса глубокого реактивного ионного травления (Bosch-процесс).