Способ создания сенсора газов и паров на основе чувствительных слоев из металлсодержащих кремний-углеродных пленок

Способ создания сенсора газов и паров на основе чувствительных слоев из металлсодержащих кремний-углеродных пленок относится к области технологий формирования химически, механически, коррозионно и термостойких тонкопленочных металлсодержащих пленок на диэлектрических подложках, а также их использовании в области сенсорной техники, а именно: при создании конструктивных элементов газовых сенсоров и газоаналитических мультисенсорных линеек хеморезистивного и импедансометрического типов. Технический результат достигается с помощью того, что чувствительный слой сенсоров на основе металлсодержащих кремний-углеродных пленок формируется на диэлектрической подложке с контактной металлизацией состава хром/медь/хром (толщина слоя меди 2 мкм, толщина слоя хрома 15 нм) в виде встречно-штыревой структуры методом электрохимического осаждения из раствора гексаметилдисилазана в метиловом спирте в соотношении 1:9 в три этапа с добавлением на втором этапе в органический электролит растворимой в нем соли металла, после чего производится отжиг подложки со сформированным на ней чувствительным слоем в течение 120 минут при температуре 200°С-500°С. Предложенный способ позволяет получать высокочувствительные сенсоры газов и паров хеморезистивного и импедансометрического типов на основе чувствительных слоев из металлсодержащих кремний-углеродных пленок, формируемых методом электрохимического осаждения, работающие при температурах не выше 100°С. Данный метод технически прост, для его реализации не требуется сложное технологическое оборудование, что позволяет сократить время на изготовление сенсоров.