Способ получения газочувствительного элемента на основе многослойной структуры пористого кремния на изоляторе и SnOx

Технической задачей является повышение чувствительности газочувствительного элемента к NO2 при комнатной температуреПредлагаемый способ получения газочувствительного элемента на основе многослойной структуры пористого кремния на изоляторе и SnOx включает двухэтапное анодное травление пластины кремния, окисление полученной двухслойной структуры путем высокотемпературного отжига в парах кислорода, с последующим нанесением пленки SnOx методом осаждения из парогазовой фазы и отличается тем, что перед стадией высокотемпературного отжига двухслойную структуру окисляют в электролите состава HCl : H2O 1 : 7 при плотности тока 20 мА/см2 в течение 5 минут, а полученную многослойную структуру с осажденной пленкой SnOx подвергают термическому отжигу при температуре 350 - 450 оС в течение 60 минут