Волоконно-оптический датчик перемещения на основе интерферометра Майкельсона

Полезная модель относится к измерительной технике, в частности, к области измерения волоконно-оптическими датчиками перемещений подвижных узлов прецизионных ЧПУ-станков и другого сборочного технологического оборудования. Волоконно-оптический датчик перемещения представляет собой волоконно-оптический интерферометр Майкельсона, собранный на основе 3х3 делителя с удаленными на выходе волоконными световодами. Один вход интерферометра подключен к источнику оптического излучения, второй и третий входы – к двум фотодиодам, излучение из измерительного плеча попадает на объект, отражается и интерферирует с излучением, отраженным от торца опорного плеча. Величина перемещений определяется путем преобразования квазиквадратурных сигналов фотодиодов к квадратурным сигналам и последующей математической обработкой с помощью блока обработки.