Способ изготовления рентгеноптических фокусирующих элементов

Способ калибровки приемников вакуумного ультрафиолетового излучения заключающийся в облучении калибруемого приемника потоком излучения от синхротронного источника, энергия электронов в котором измеряется шагами, и измерении выходного сигнала приемника для каждого значения энергии электронов, вычислении разности сигналов при различных энергиях электронов, отличающийся тем, что перед калибруемым приемником размещаются зеркало, откалиброванное по спектральному коэффициенту отражения, с отверстием, диаметр которого выбирают в зависимости от размера чувствительной площадки калибруемого приемника, а на пути отраженного от зеркала пучка излучения размещают светофильтр, откалиброванный по спектральному коэффициенту пропускания, за которым устанавливают матричный приемник излучения, откалиброванный по абсолютной спектральной чувствительности к освещенности, затем измеряют пространственное распределение спектральной энергетической освещенности отраженного от зеркала пучка с помощью матричного приемника и методом экстраполяции вычисляют пространственное распределение и среднее значение энергетической освещенности излучения прошедшего через отверстие в зеркале и попадающего на калибруемый приемник, а также нормировочный коэффициент, обусловленный изменением тока при пошаговом изменении энергии электронов и изменением тока за время измерений, а спектральную чувствительность калибруемого приемника вычисляют как отношение разности сигналов при различных энергиях электронов к разности энергетических освещенностей при различных энергиях электронов, умноженного на соответствующие значения нормировочного коэффициента, обусловленного изменением тока.