РИД
№ 624072300072-3

Конденсационный зонд с поперечным магнитным полем

23.07.2024

Заявляемое техническое решение относится к измерению концентрации ионов и нейтралов в плазме, образованной при испарении твердотельной мишени электронным пучком и может быть использовано при отработке режимов нанесения различных металлических и диэлектрических покрытий, а также применяться в экспериментальной физике и плазмохимической технологии. Цель заявляемого технического решения состоит в увеличении времени работы конденсационного зонда с поперечным магнитным полем при воздействии высоких температур. Поставленная цель достигается тем, что в известном конденсационном зонде, содержащем магниты, кожух, область дрейфа, подложку добавлен термоэкран сделанный из фольги на основе тугоплавкого металла, располагающийся перед входным отверстием зонда толщиной x мм, определяемой соотношением 0,1≤x≤0,3 мм, располагающийся на расстоянии l мм от входного отверстия, определяемом соотношением 1≤l≤2 мм. Внешний диаметр термоэкрана равен внешнему диаметру лицевой части прибора.
ГРНТИ
29.03.29 Вакуумная техника в физическом эксперименте
Ключевые слова
ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ДИЭЛЕКТРИКИ
ПУЧКИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
СИНТЕЗ ПОКРЫТИЙ
ПЛАЗМА
Детали

НИОКТР
Тип РИД
Полезная модель
Сферы применения
При отработке режимов нанесения различных металлических и диэлектрических покрытий, а также применяться в экспериментальной физике и плазмохимической технологии.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Конденсационный зонд с поперечным магнитным полем экранированный тепловым ударом
0.972
РИД
Кольцевой планарный магнетрон
0.895
РИД
Устройство извлечения ионов испаряемой мишени из пучковой плазмы
0.893
РИД
Устройство для извлечения и транспортировки ионов из газоразрядной плазмы среднего вакуума
0.891
Промышленная инновация
Узел катода магнетронного распылителя с горячей мишенью
0.889
РИД
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
0.888
РИД
Форвакуумный плазменный источник импульсного электронного пучка на основе контрагированного дугового разряда
0.887
РИД
Устройство для регистрации скорости плазмы в открытой ловушке (Регистрация заявки на изобретение 2024119794)
0.887
РИД
Иточник пучка ионов на основе плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке
0.885
РИД
Планарный магнетрон с ротационным центральным анодом
0.883
РИД