«Программа аналитического расчета геометрических размеров логических МЭМС вентилей на основе гребенчатых резонаторов»

Назначение – программа предназначена для предварительного аналитического расчета геометрических размеров элементов МЭМС вентиля на основе гребенчатого резонатора с поперечным перемещением емкостных электродов с учётом газового демпфирования, оптимизации зазоров между электродами емкостной ячейки для снижения паразитной емкости и увеличения чувствительности. Область применения – программа используется в области микроэлектромеханики на начальных этапах проектирования топологии МЭМС вентиля. Функциональные возможности – исходными данными служат значения собственной частоты колебаний, площадь инерционной массы и коэффициента добротности при атмосферном давлении. Программа рассчитывает перекрытие электродов статора и ротора емкостной ячейки, ёмкость и чувствительность, размеры упругих подвесов с учетом свойств материалов и технологических норм и сохраняет топологический чертеж в файл.