Устройство для измерения фазового портрета мощного стационарного пучка.

Изобретение относится к области технологических установок для обработки материалов с помощью пучка заряженных частиц (электронов, ионов), а именно, к способам определения пространственно-энергетических характеристик пучка. Целью заявленного изобретения является расширение пространственно-угловых параметров, диагностируемых этим устройством пучков. Заявленное устройство состоит из вакуумной камеры, базы диагностики, сильфонных вставок, установленных в начале и в конце базы диагностики, диагностической вакуумной камеры, приемника пучка – цилиндра Фарадея и компьютера для сбора и обработки полученных данных. В вакуумной камере расположены контур водяного охлаждения, видеокамера, патрубок для ее подключения и трехкоординатный вакуумный ввод движения. К трехкоординатному вакуумному вводу движения крепится «обойма» из четырех охлаждаемых коллиматоров разного диаметра с зенковкой вокруг отверстий. Отверстия коллиматора разнесены друг от друга. Диагностическая вакуумная камера состоит из проволочного сканера, системы для параллельного переноса базы диагностики – координатного стола, видеокамеры, патрубка для ее подключения и колец из нержавеющей стали с поданным на них запирающим напряжением. Измеренные данные поступают на компьютер и обрабатываются с помощью программ для ЭВМ. Первая программа для ЭВМ строит токовый профиль, определяет размер, положение и ток пучка. Построение фазового портера пучка и вычисление его эмиттанса осуществляют во второй программе.