Программное средство визуальной аналитики технологических данных установок плазмохимического травления

29.12.2025

Программа предназначена для визуального анализа и интерпретации технологических данных установок плазмохимического травления. Обеспечивает загрузку структурированных параметров технологических процессов, их обработку, построение графиков, диаграмм, трендов и иных средств визуализации. Система формирует интерактивную инфографику, позволяющую оператору, технологу и инженеру оперативно оценивать состояние подсистем, динамику параметров, а также выявлять отклонения и взаимосвязи в ходе выполнения технологических процессов. Программа повышает наглядность данных, ускоряет анализ и способствует оптимизации режимов травления. Тип ЭВМ: IBM PC-совмест. ПК. ОС: Windows 10.

ГРНТИ

47.13.33 Электронно-ионно-плазменные технологии электронного производства

Ключевые слова

статистика

инфографика

технологические режимы

мониторинг показателей

контроль качества

Детали

НИОКТР

№ 124073100044-4

Тип РИД

Программа для ЭВМ

Сферы применения

Основным направлением использование является визуальный анализ динамики изменения параметров состояния и показателей технологических процессов в виде соответствующей инфографики и контрольных карт качества с применением статистических критериев

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ СИСТЕМНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ НАЦИОНАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ЦЕНТРА "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"

Заказчик

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"

Похожие документы

Программное средство автоматизированной обработки и рекомпозиции технологических данных установок плазмохимического травления

0.916

РИД

Программа для оптимизации технологического процесса в вакуумно-плазменных установках

0.886

РИД

Программа анализа изображений высокоскоростной видеосъемки процесса плазменно-электролитной обработки

0.886

РИД