Разработка и исследование преобразователя угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта

16.03.2018

Разработаны новые структурные схемы одно-, двух- и трехосевых микрооптоэлектромеханических (МОЭМ) преобразователей угловых скоростей с квазилинейными функциями преобразования, которые построены в системе «призма полного внутреннего отражения (ППВО) - воздух - чувствительный элемент (ЧЭ)». Произведен учет переменности зазора на модулируемой границе структуры «ППВО - воздух - ЧЭ» при изгибе ЧЭ балочного типа, и получены уточненные математические модели МОЭМ-преобразователей угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ). Проведено экспериментальное исследование ОТЭ, и определена корректирующая функция теоретических расчетов функции преобразования МОЭМ-преобразователя. Исследовано влияние отклонений конструктивных параметров и дестабилизирующих факторов на характеристики МОЭМ-преобразователей угловых скоростей на основе ОТЭ. Разработаны амплитудный и компенсационный методы расширения диапазона измерения, и предложена методика расчета МОЭМ-преобразователей угловых скоростей на основе ОТЭ.

ГРНТИ

50.09.37 Датчики и преобразователи

59.31.31 Приборы для измерения параметров движения

Ключевые слова

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ

УГЛОВАЯ СКОРОСТЬ

ОПТИЧЕСКИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ

Детали

Автор

Фам Ань Туан

Вид

Кандидатская

Целевое степень

Кандидат технических наук

Дата защиты

05.03.2018

Организация защиты

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова Российской академии наук

Организация автора

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)"

Похожие документы

Разработка адаптивного рамочного микрооптоэлектромеханического преобразователя угловой скорости на основе оптического туннельного эффекта

0.926

Диссертация

Разработка оптических методов детектирования параметров колебаний резонаторов твердотельных волновых гироскопов

0.923

ИКРБС

Разработка и исследование кольцевого микрооптоэлектромеханического преобразователя угловой скорости на основе оптического туннелирования

0.904

Диссертация

Разработка и исследование волоконно-оптической интерферометрической системы с микромеханическим преобразователем

0.902