Разработка адаптивного рамочного микрооптоэлектромеханического преобразователя угловой скорости на основе оптического туннельного эффекта

Диссертация посвящена решению научных задач, направленных на повышение точности рамочного микрооптоэлектромеханического преобразователя угловой скорости посредством разработки оптической измерительной системы на основе оптического туннельного эффекта и методов адаптации к дестабилизирующим воздействиям. Разработаны математические модели и функциональные схемы чувствительного элемента, узла оптического считывания на основе оптического туннельного эффекта, позволяющие оценивать субмикрометровые перемещения и параметры преобразования. Предложены метод расширения динамического диапазона с использованием двухволнового преобразования и алгоритм компенсации влияния линейных ускорений. Разработана методика определения конструктивно-технологических параметров преобразователя, обеспечивающая соблюдение требований к точности измерения угловой скорости и автоматизированный расчёт критических параметров при проектировании преобразователя.