Разработка и исследование кольцевого микрооптоэлектромеханического преобразователя угловой скорости на основе оптического туннелирования

Разработан микрооптоэлектромеханический (МОЭМ) датчик угловой скорости с кольцевым резонатором, в котором использованы оптический съем информации на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ), блок обработки и коррекции, что обеспечило повышение точности, уменьшение влияния линейных ускорений и измерение малых угловых скоростей. Предложены функциональные схемы одно- и трехосевого кольцевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей на основе ОТЭ, обеспечивающие регистрацию наноперемещений кольцевого резонатора. Произведены скорректированные математические модели изменения зазора для различных точек оптического пятна модулятора на основе ОТЭ при деформации кольцевого резонатора эллиптического типа в 1-м режиме и при действии угловой скорости, что уменьшает погрешность расчетов кольцевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей. Проведено экспериментальное исследование характеристик модуля съема информации на основе ОТЭ с помощью пьезоэлектрического преобразователя для использования аналитических зависимостей при расчете квазилинейной функции преобразования. Предложены алгоритмы коррекции изменения чувствительности при действии линейного ускорения, позволяющие уменьшить дополнительные погрешности преобразователя угловых скоростей без введения дополнительных средств измерения. Разработана методика расчета кольцевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей на основе ОТЭ.