Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги

Цель: исследование закономерностей плазменно-иммерсионного формирования, баллистической фокусировки и транспортировки сильноточного пучка ионов металлов, применение высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии для формирования глубоколегированных слоев металлов и сплавов. Показана возможность реализации системы плазменно-иммерсионного формирования баллистически фокусируемого ионного пучка, определены динамика и особенности нейтрализации пространственного заряда высокоинтенсивного пучка в зависимости от параметров потенциала смещения, условий предварительной инжекции плазмы в систему транспортировки пучка, градиента плотности ионов в пучке, обусловленного баллистической фокусировкой, продемонстрирована конечная вероятность возникновения неустойчивостей в результате декомпенсации ионного пучка, а также возможность формирования протяженных ионно-легированных слоев, содержащих интерметаллидные фазы.