Формирование и применение высокоинтенсивных пучков ионов металлов, газов и полупроводников

Цель: изучение закономерностей формирования высокоинтенсивных пучков ионов алюминия, кремния и азота низкой энергии и применения полученных пучков для глубинного легирования примеси в различные материалы с целью модификации их свойств. Исследовано совместное влияние конфигурации магнитного поля вакуумно-дугового испарителя и высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения на осаждение макрочастиц на мишень. Экспериментально показана возможность формирования пучков низкоэнергетических ионов алюминия и кремния с максимальными плотностями 0,15 мА/см² и 0,8 мА/см², соответственно. Были проведены исследования профилей радиального распределения плотности ионного тока пучков, а такжепо модификации высокоинтенсивными пучками ионов алюминия приповерхностных слоев никеля и модификации стали марки 40Х13 пучками ионов азота. Показано, что для проникновения примеси в мишень на большие глубины решающее значение имеют высокие плотности ионного тока.