Разработка и исследование технологических основ формирования нанокристаллических пленок LiNbO₃ методом импульсного лазерного осаждения для пьезоэлектрических преобразователей

Представлены результаты теоретических исследований закономерностей физико-химических процессов в факеле при лазерной абляции мишени LiNbO₃. Показано существование областей начала формирования оксидных фаз в факеле при абляции мишени LiNbO₃ в вакууме и атмосфере кислорода. Выявлены закономерности влияния условий синтеза нанокристаллических пленок LiNbO₃ методом импульсного лазерного осаждения на их морфологические и электрофизические параметры. Результаты экспериментальных исследований могут быть использованы при получении пленок LiNbO₃ с контролируемыми электрофизическими параметрами. Разработан и исследован пьезоэлектрический наногенератор на основе гибридной углеродной наноструктуры. Предложен технологический маршрут изготовления пьезоэлектрического преобразователя энергии на основе массива гибридных углеродных наноструктур. Результаты исследований внедрены в практическую деятельность ООО «Центр нанотехнологий», используются в Институте нанотехнологий, электроники и приборостроения ФГАОУ ВО «Южный федеральный университет».