НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ И ГИБРИДНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ НА ИХ ОСНОВЕ ДЛЯ УСТРОЙСТВ АЛЬТЕРНАТИВНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ

Объектом исследования являются макеты пьезоэлектрических преобразователей механической энергии на основе нанокристаллических сегнетоэлектрических пленок LiNbO3, BaTiO3. Цель работы – исследование закономерностей процессов синтеза методом импульсного лазерного осаждения нанокристаллических сегнетоэлектрических пленок и гибридных углеродных наноструктур на их основе для перспективных элементов устройств альтернативной энергетики. В ходе выполнения третьего этапа НИР получены следующие научные результаты: 1) Изготовлены макеты пьезоэлектрических преобразователей механической энергии на основе нанокристаллических сегнетоэлектрических пленок LiNbO3, BaTiO3. 2) Экспериментально установлены закономерности влияния контактного слоя на параметры макетов пьезоэлектрических преобразователей механической энергии на основе нанокристаллических сегнетоэлектрических пленок LiNbO3, BaTiO3. 3) Исследованы параметры макетов пьезоэлектрических преобразователей механической энергии на основе нанокристаллических сегнетоэлектрических пленок LiNbO3, BaTiO3. 4) Проведены сравнительные исследования параметров макетов пьезоэлектрических преобразователей, полученных на основе различных нанокристаллических сегнетоэлектрических пленок. Результаты, полученные в рамках реализации проекта, позволяют существенно расширить возможности технологии импульсного лазерного осаждения при работе с подложками большой площади, что позволит ускорить совмещение технологии лазерного осаждения многокомпонентных оксидных пленок с кремниевой технологией микро- и наноэлектроники для создания устройств преобразования энергии. Полученные результаты могут быть востребованы при разработке систем энергообеспечения элементов носимой электроники и компонентов Интернета Вещей (IoT). На основе полученных результатов были предложены подходы, позволяющие использовать разработанные пьезоэлектрические преобразователи на основе BaTiO3 для питания мемристивных структур.