Разработка базовых технологических маршрутов, эскизной документации и изготовление сильноточных твердотельных автоэмиссионных и вакуумных автоэмиссионных диодов

Объекты исследования: базовые технологические маршруты формирования вакуумных и твердотельных сильноточных автоэмиссионных СВЧ-диодов (ВАД и ТАД) для работы в диапазоне частот 30 ГГц и более. Цель: разработка базовых технологических маршрутов формирования ТАД и ВАД. Изготовлены экспериментальные образцы ТАД и ВАД. Разработана уникальная конструкция устройства, позволяющего визуально регистрировать степень однородности автоэмиссии электронов с поверхности автокатодов большой площади. Изучены особенности пороговых характеристик автоэмиссионных сред различных конструкций. Предложены конструкция и технология изготовления вакуумно-плотного корпуса для автокатодов СВЧ-диодов большой площади. Изготовлены экспериментальные образцы таких корпусов. Разработаны электрические блоки к экспериментальному измерительному стенду для изучения в импульсном режиме характеристик автоэмиссии в низковольтных образцах ТАД и высоковольных образцах ВАД, экспериментальный диагностический стенд для проведения функциональных и СВЧ-измерений экспериментальных образцов ТАД и ВАД. Выполнены измерения морфологии, элементного и фазового составов и их профилей для исходных слоев приборных структур экспериментальных образцов ТАД и ВАД.