Исследования и разработка микроволновых плазменных технологий создания кремний-углеродных наноструктур для новой радиационно-стойкой элементной базы микро- и вакуумной СВЧ электроники

Цель: исследование корреляционных взаимосвязей поверхностной проводимости с морфологическими и автоэмиссионными характеристиками поверхностно-наноструктурированных кремниевых пластин различных типов проводимости. Изучены закономерности модификации ВАХ МДП кремниевых структур за счет формирования встроенных поверхностных потенциалов, которые образуются при получении атомно-чистой поверхности кремниевых кристаллов с использованием СВЧ-плазменной микрообработки в различных химически активных газовых средах. Установлено влияние поверхностных потенциалов на крутизну ВАХ МДП устройств, а также величину их несимметричности при изменении полярности на затворе. Предложены базовые конструкции и исследованы характеристики двух- и трехэлектродных туннельных элементов на основе модифицированной поверхностной проводимости кремниевых гетероструктур с встроенным потенциалом. Рассмотрены возможные механизмы и способы повышения плотности тока, стабильности и деградационной стойкости многоострийных автоэмиссионных катодов в виде композиционной наноалмазографитовой пленки на столбчатых наноструктурах монокристаллического u1082 кремния различных типов проводимости.