ВЛИЯНИЕ МИКРОСТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛА ХОЛОДНОГО КАТОДА НА ЕГО УСТОЙЧИВОСТЬ К РАСПЫЛЕНИЮ

Исследовано ионное распыление наноструктурных, мелкозернистых и крупнозернистых образцов никеля фокусированным ионным пучком ионами галлия. Показано, что рельеф, формирующийся на поверхности распыленного участка в процессе ионного распыления, зависит от размера зерен образца. Установлено, что в случае, когда участок распыления включает несколько зерен, распыление происходит неравномерно из-за наличия зерен с разным кристаллографическим направлением на поверхности. В случае, когда на участке распыления присутствует большое количество зерен, распыление происходит относительно равномерно. Количество распыленного материала при этом зависит от размера зерен в нем. Определены коэффициенты ионного распыления образцов металлов с разным размером зерен. Установлено, что деформационное наноструктурирование никеля приводит к снижению эмиссии атомов с его поверхности при бомбардировке ионами галлия.