ОТЧЁТ о выполнении НИОКР по теме: "Разработка высокоточного датчика магнитного поля" (договор №38ГТС1РЭС14/72447 от 25.12.2021). Этап №1 "Расчёт электрофизических и геометрических параметров сенсора магнитного поля для датчика. Исследование материального макета сенсора магнитного поля для датчика. Разработка технологии получения тонких аморфных плёнок ферромагнетика CoFeB(CoFeSiB). Изготовление материального макета сенсора магнитного поля на основе тонких плёнок аморфного ферромагнетика CoFeB(CoFeSiB." (промежуточный)

Отчет 140 с., 81 рис., 3 табл., 22 источника, прил. 5 МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК, МАГНИТОИМПЕДАНСНЫЙ ЭФФЕКТ, АМОРФНЫЙ ФЕРРОМАГНЕТИК, ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАГНИТНЫЕ СТРУКТУРЫ, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА МАГНИТНОГО ПОЛЯ (СЕНСОР), КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, МИКРОМАГНЕТИЗМ, СПИНОВАЯ ДИНАМИКА, МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, ПЕРЕМАГНИЧИВАНИЕ Объектом разработки на этапе № 1 НИОКР является материальный макет сенсора магнитного поля на основе тонких пленок аморфного ферромагнетика CoFeB (CoFeSiB), предназначенный для проверки работоспособности предложен-ной конструкции макета на предмет чувствительности аморфных ферромагнитных пленок в составе сенсора к внешнему магнитному полю. Целью выполнения работ за отчетный период является изготовление и иссле-дование магнитоимпедансных свойств материального макета сенсора магнитного поля на основе тонких пленок аморфного ферромагнетика. Для реализации данной цели проводится предварительный теоретический расчёт электрофизических и гео-метрических параметров сенсора магнитного поля с применением комплексного мультифизического подхода к моделированию поля Эрстеда вокруг токонесущей шины и соответствующей микромагнитной динамики аморфных ферромагнитных пленок в присутствии постоянной и переменной компоненты магнитного поля, а также разработка на базе проведенных расчётов отечественной технологии полу-чения тонких аморфных пленок ферромагнетика нанометровой толщины для сен-сора с заданными свойствами, обеспечивающими чувствительность макета к маг-нитному полю. В ходе выполнения этапа № 1 НИОКР в рамках гранта № 38ГТС1РЭС14/72447 от 25.12.2021 был выполнен следующий перечень работ: - проведен расчёт электрофизических и геометрических параметров сенсора магнитного поля для датчика; - разработана технология получения тонких аморфных пленок ферромагнетика CoFeB (CoFeSiB); - изготовлены материальные макеты сенсоров на основе тонких пленок аморфного ферромагнетика CoFeB (CoFeSiB); - проведено исследование материального макета сенсора магнитного поля для датчика. Работы выполнены своевременно и в полном объеме. Результаты работ пол-ностью отвечают требованиям Технического задания и Календарного плана.