Применение высокоэффективной аддитивной лазерной печати в микроэлектронике, биомедицине и катализе

Отчет 394 с., 108 рис., 51 табл., 35 источников, 15 прил. Объектом исследования является технология высокопроизводительной аддитивной лазерной печати в микроэлектронике. Целью работы является разработка и апробация технологии аддитивной лазерной печати микро-макромасштабных проводящих элементов и цепей электроники. За отчетный период была подана заявка на изобретение от 13.10.2023 регист. № 2023126352 «СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ТОКОПРОВОДЯЩЕГО ЭЛЕМЕНТА ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЦЕПИ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ МЕТОДОМ ОДНОСТАДИЙНОГО ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОГО ПРЯМОГО ПЕРЕНОСА СЕРЕБРЯНОЙ ПЛЕНКИ». По результатам работы были подготовлены три статьи. В процессе работы проводились экспериментальные исследования по прямому лазерному облучению донорных пленок из серебра и меди в зависимости от параметров лазерного излучения и толщины донорной пленки в целях разработки технологии высокопроизводительной бесконтактной аддитивной лазерной печати микро-макромасштабных проводящих элементов и цепей гибкой электроники. В результате экспериментальных исследований был продемонстрирован метод формирования токопроводящих серебряных и медных дорожек с удельным сопротивлением 0.01 мОмꞏсм в одну стадию на поверхности предметного стекла, монокристаллического кремния, полимера. В результате исследований были определены оптимальные параметры лазерного излучения и сканирования для достижения максимальных значений проводимости.