"Разработка комплекта конструкторской документации на источник ионов. Резка листового металлопроката." (промежуточный)

Отчет 32 стр., 5 рис., 6 источников, Объект исследования: сеточные источники ионов на ВЧ разряде для установок ионно-лучевого травления и ионно-плазменного напыления Цель работы на этапе №1: 1.Разработка комплекта конструкторской документации на сеточный источник ионов . 2. Резка заготовок деталей источника из листового металлопроката. В ходе выполнения этапа №1 НИОКР, исполнителем были выполнены следующие работы: 1.Разработан комплект конструкторской документации на сеточный источник ионов ЛБКЯ.433169.009, включающий комплект чертежей ( в том числе, упаковку готового изделия) в количестве - 217 листов, приведенный объем - 305А4, текстовую документацию (техническое описание, формуляр) в количестве 46 листов А4, отправочную документацию – 8 листов А4. Разработка выполнялась, на основе имеющегося у предприятия многолетнего опыта изучения эксплуатации и ремонта ионных источников, включая источники импортного производства. Все чертежи из комплекта конструкторской документации на источник ионов были разработаны в системе проектирования «Компас 3D». 2. Изготовлены из металлопроката, заготовки основных конструктивных деталей сеточного источника ионов. Все научно- технические и проектные задачи, определенные на этапе №1 календарным планом и ТЗ по проекту Разработка сеточного источника ионов на ВЧ разряде для установок ионно-лучевого травления и ионно-плазменного напыления" (договор №28ГРЭ-С18/102462 от 11.12.2025 успешно выполнены. Достигнутые результаты , позволяют успешно выполнить все научно-технические задачи, поставленные на этапе №1 проекта и продолжить выполнение работ по проекту. Внедрение результатов выполненных на этапе №1 работ позволят: 1. Впервые в России изготовить сеточный источник ионов на ВЧ разряде для установок ионно-лучевого травления и ионно-плазменного напыления, что позволит заменить импортные источники ионов в эксплуатируемом предприятиями России вакуумном оборудовании, и создать новое отечественное оборудование для ионного травления в производстве приборов квантовой электроники и микроэлектронике. 2. Реализовать заложенные в разработанном сеточном источнике ионов конструктивные решения, которые позволяют в дальнейшем увеличивать производительность процессов осаждения покрытий и номенклатуру реализуемых нанотехнологий.