Математические модели динамики компонентов нано- и микроэлектромеханических датчиков с учетом термо и электроупругости

Проект посвящен построению в рамках неклассических теорий упругости математических моделей деформации компонентов НЭНС и МЭМС датчиков в виде балки, прямоугольной и круглой пластин. Математические модели должны учитывать специфику исследования наноразмерных объектов, ортотропность или анизатропность материала датчика, связанные эффекты термо и электроупругости. В результате исследования построенных моделей будут полученны количественные и качественные характеристики, влияющие на параметры НЭМС и МЭМС датчиков. Будет исследована возможность возникновения явления детерминированного хаоса в выходном сигнале датчика.Практическая значимость проекта заключается в том, что построенные математические модели и результаты их исследования будут способствовать более глубокому пониманию многообразных сложных физических явлений и процессов, имеющих место в НЭМС датчкиках. Что будет, в свою очередь, способствовать созданию высокоточных НЭМС датчиков.Целью настоящей работы является построение и исследование математических моделей движения компонентов нано- и микроэлектромеханических датчиков в условиях тепловых воздействий методами неклассических теорий и методов.