Разработка и исследования экспериментальных образцов микромеханических многоосевых сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей, используемых в инерциальных навигационных системах

. Целью проекта является разработать и исследовать экспериментальные образцов микромеханических многоосевых сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей, используемых в инерциальных навигационных системах.Проект направлен на решение проблем более точного детектирования угловых скоростей и линейных ускорений с использованием более высокофункциональных устройств. Разрабатываемые интегральные многоосевые сенсоры угловых скоростей и линейных ускорений отличаются более высокими функциональными возможностями, а именно возможностью детектирования угловых скоростей и линейных ускорений по трем осям чувствительности одним сенсорным элементом. Таким образом для регистрации линейного ускорения и угловой скорости по трем осям чувствительности необходим 1 сенсор, а не 4 или 6. Это позволит повысить степень интеграции и снизить массогабаритные характеристики разрабатываемого устройства, следовательно, снизить себестоимость выходного изделия.