Разработка конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей. Моделирование конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров. Анализ результатов моделирования конструкции экспериментальных образцов.

Отчет 52 стр., 28 илл.,1 табл. МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА, МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ, МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, КОНСТРУКЦИИ, МОДЕЛЬ, МОДЕЛИРОВАНИЕ, МОДАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ, АКСЕЛЕРОМЕТР, ГИРОСКОП Объект исследования включает в себя многоосевые микромеханические сенсоры линейных ускорений и угловых скоростей. Целью НИОКР является разработка и исследование микромеханических сенсоров, позволяющие уменьшить массогабаритные характеристики и снизить себестоимость инерциальных систем навигации на их основе. Отличительной особенностью разрабатываемых изделий от существующих в мире аналогов является возможность измерения угловых скоростей и линейных ускорений одним устройством. Применение интегральных сенсоров позволит улучшит массогабаритные характеристики инерциальных систем на их основе, повысить степень интеграции устройств и их конкурентоспособность. Разработанные микромеханические сенсоры, могут быть применены при производстве робототехнических комплексов любого назначения, портативной электроники, авто- и авиастроением, мобильных устройств, интерактивных игровых приставок, интеллектуальных протезов и т.п. Разработанные конструкции микромеханических акселерометра и гироскопа могут быть изготовлены в рамках одного технологического маршрута изготовления на одной подложке, что повышает их степень интеграции.