НИОКТР
№ 121120100121-6Исследование свойств эпитаксиальных наноразмерных фаз SiC, образующихся на Si методом согласованного замещения атомов, и изучение влияния этих свойств на механизмы роста и морфологию полупроводниковых пленок групп A3B5 и A2B6.
05.05.2023
Цель данного проекта - исследование и решение двух связанных между собой фундаментальных проблем. Первой является проблема теоретического и экспериментального изучения новых физических свойств эпитаксиальных наноразмерных фаз SiC на Si и бездислокационной межфазной границы раздела, образующихся в процессе химического превращения монокристаллического Si в монокристаллический SiC при согласованном замещении половины атомов кремния на углерод.
ГРНТИ
29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
Ключевые слова
интерференционный транзистор
нановискеры
широкозонные проводники
полиморфные фазы
квантовая химия
карбид кремния
фазовые превращения
наноразмерные материалы
Детали
Начало
25.05.2020
Окончание
30.12.2022
№ контракта
20-12-00193
Заказчик
Российский научный фонд
Исполнитель
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Бюджет
Средства фондов поддержки научной и (или) научно-технической деятельности: 18 000 000 ₽
Похожие документы
Исследование свойств эпитаксиальных наноразмерных фаз SiC, образующихся на Si методом согласованного замещения атомов, и изучение влияния этих свойств на механизмы роста и морфологию полупроводниковых пленок групп A3B5 и A2B6.
1.000
НИОКТР
Эпитаксия пленок карбида кремния на кремнии методом замещения атомов для роста широкозонных полупроводников
0.934
НИОКТР
Эпитаксия пленок карбида кремния на кремнии методом замещения атомов для роста широкозонных полупроводников
0.934
НИОКТР
Закономерности роста эпитаксиальных пленок β-SiC на кремнии с нанопористым буферным слоем и исследование их физических свойств
0.933
Диссертация
Широкозонные полупроводниковые материалы для силовой электроники, формируемые на кремнии с буферным слоем нано-SiC
0.929
НИОКТР
Наноструктуры, физика, химия, биология, основы технологии
0.929
НИОКТР
Наноструктуры, физика, химия, биология, основы технологии
0.929
НИОКТР
Разработка фундаментальных принципов управляемого синтеза новой группы полупроводниковых, термозащитных, биологически совместимых материалов на основе нанокарбида кремния и наноалмаза методом согласованного замещения атомов
0.928
ИКРБС
Наноструктуры, физика, химия, биология, основы технологии
0.928
НИОКТР
Разработка метода твердофазной эпитаксии низкодефектных пленок широкозонных полупроводников на кремниевых подложках для микро- и оптоэлектроники
0.927
НИОКТР