НИР "Исследование и разработка технологии изготовления ударного МЭМС акселерометра"

Проект направлен на исследование и разработку технологии изготовления ударного МЭМС акселерометра. Основная проблема научно-технологического характера связана с поиском конструктивно-технологических способов формирования микроэлектромеханического чувствительного элемента, что включает в себя разработку оптимальной конструкции инерционной системы с целью достижения необходимых механических ударных характеристик, сохраняя конкурентоспособность компактности и массогабаритных показателей, и разработку технологии с оптимизированными режимами обработки кремния. Неотъемлемой частью чувствительного элемента МЭМС акселерометра являются тензорезистивные элементы, в формировании которых требуется оптимизация режимов технологии, формы тензорезистивных элементов и расположение на кремниевом кристалле с целью достижения необходимых электрофизических характеристик ударного МЭМС акселерометра. Также предстоит найти решение проблемы корпусирования чувствительного элемента, что является этапом изготовления ударного МЭМС акселерометра, а именно поиск методов монтажа и герметизации специализированного корпуса с целью обеспечения работоспособности в заданных эксплуатационных режимах и надёжности ударного МЭМС акселерометра. Потребность в микроэлектронных приборах преобразования высокоинтенсивных ударных ускорений отечественного производства регулярно повышается. Проект направлен на снижение зависимости от зарубежных продуктов микроэлектронной промышленности и организацию импортозамещения ударного МЭМС акселерометра на отечественном предприятии. Поэтому в основе комплексной научно-технической и технологической задачи лежит создание конструктивно-технологических решений, направленных на организацию мелкосерийного производства нового полностью отечественного продукта в виде ударного МЭМС-акселерометра. Разрабатываемые новые конструктивные решения и технология изготовления ударного МЭМС-акселерометра обеспечат повышение надежности и точности преобразования высоких значений ускорения в электрический сигнал.