Синтез тонких пленок литий-проводящего электролита реакционным анодным испарением в дуге низкого давления

Li-проводящие электролиты повсеместно используются в современных электрохимических устройствах. Несмотря на успехи в разработке методов синтеза твердых электролитов, исследования, проведённые к настоящему времени, ограничиваются рассмотрением совокупного действия рабочих параметров, реализуемых в конкретной установке, что приводит к противоречивым результатам, не позволяет определять оптимальные условия синтеза пленок и транслировать технологии для масштабного применения. Сложность проблемы обусловлена ограниченными возможностями существующих методов в отношении независимого управления различными параметрами синтеза пленок. Настоящий проект направлен на реализацию высокоскоростного синтеза пленок твердого электролита с независимым управлением в широких пределах условиями процесса. Важным аспектом исследований является выбор твердого электролита. К перспективным относят аморфные электролиты, получаемые при низкой температуре. Основным представителем этого типа электролитов остается фосфора оксинитрид лития (LiPON), имеющего относительно низкую ионную проводимость (10^-6 См/см при 25 оС). В рамках проекта проблема создания более эффективных тонкопленочных электролитов будет решаться допированием азотом LiPO3, более короткие фосфатные цепочки которого и структурно-химические единицы могут обеспечивать повышенную скорость диффузии ионов лития. Результаты проекта позволят разрабатывать научно-технические принципы создания тонких аморфных пленок литий-ионного электролита.