НИОКТР
№ 125060506792-3Составная часть опытно-конструкторской работы "Разработка установки высокотемпературной активации примеси"
29.05.2025
Установка предназначена для высокотемпературной термообработки пластин диаметром до 150 мм: отжига пластин карбида кремния SiC, активации легирующих примесей в пластинах нитрида галлия GaN, отжига зародышевых слоев нитрида алюминия AlN при атмосферном давлении, а также в вакууме с подачей реакционных газов Ar, N2, H2, He, опционально SiH4, C3H8, C2H4 при необходимости обработки поверхности карбида кремния SiC, например, карбонизации.
ГРНТИ
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
высокотемпературная обработка полупроводниковых пластин
оборудование для базовых технологических процессов микроэлектроники
базовые процессы обработки кремниевых пластин 150 мм
микроэлектроника
Детали
Начало
21.02.2025
Окончание
15.11.2027
№ контракта
17705596339240002040/307-Н/25
Заказчик
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МОЛЕКУЛЯРНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ"
Исполнитель
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ"
Бюджет
Средства хозяйствующих субъектов: 765 000 000 ₽
Похожие документы
Разработка установки высокотемпературной активации примеси
0.960
НИОКТР
Разработка установки высокотемпературной активации примеси
0.960
НИОКТР
Проектирование, изготовление и испытания опытных образцов установок: получения исходного геля, сушки, пиролиза, вакуумной печи и опытного образца устройства для очистки и выделения нано-SiC; получение и исследование опытных образцов нанопорошка SiC на основе метода "золь-гель"
0.888
НИОКТР
УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ НАНОКОМПОЗИТОВ В ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ
0.885
Промышленная инновация
Этап №2 "Расчет и разработка конструкции опытной вакуумной печи и ее оснастки. Разработка технологии получения тугоплавких неоксидных материалов в вакуумной печи. Изготовление оснастки опытной вакуумной печи.Экспериментальные исследования по определению оптимальных параметров работы печи для получения ряда/линейки тугоплавких материалов. Монтаж оснастки опытной вакуумной печи. Разработка методики оценки качества получаемых неоксидных материалов и проведение качественного анализа. Корректировка технологической документации. (итоговый)"
0.878
ИКРБС
Разработка технологии получения жаропрочных и химически стойких карбидокремниевых материалов с минимальным содержанием свободного кремния с применением лазерного химического газофазного осаждения. Этап 2022 года (Заключительный)
0.876
ИКРБС
Разработка технологии получения жаропрочных и химически стойких карбидокремниевых материалов с минимальным содержанием свободного кремния с применением лазерного химического газофазного осаждения. Этап 2022 года
0.875
НИОКТР
Разработка технологии получения жаропрочных и химически стойких карбидокремниевых материалов с минимальным содержанием свободного кремния с применением лазерного химического газофазного осаждения. Этап 2022 года
0.875
НИОКТР
Составная часть опытно-конструкторских работ "Разработка и изготовление комплекта установок ионной имплантации (высокоэнергетическая) и (среднетоковая) для полупроводникового производства"
0.875
НИОКТР
Разработка и производство промышленно-ориентированного технологического комплекса плазмохимического осаждения (ПХО) на базе кластерной системы с технологическими модулями: - модуль PECVD осаждения нитрида кремния; - модуль PECVD осаждения оксида кремния (SiH4/N2O); - модуль PECVD осаждения оксида кремния (TEOS); - модуль субатмосферного осаждения оксида кремния из TEOS/03 и роботизированной системы транспортирования пластин с использованием FOUP контейнеров
0.874
НИОКТР