Разработка конструкции и технологии изготовления лавинных фотодиодов А3В5/InP на длину волны 1,55 мкм и фотодетекторов на их основе для оптоволоконных линий связи

Разрабатываемая технология изготовления лавинных фотодиодов (ЛФД) на длину волны 1,55 мкм должна обеспечить следующие характеристики фотодетекторов: - напряжение пробоя Vbr ЛФД с диаметром активной области 40 и 200 мкм - 35 и 60 В соответственно. Значение параметра определяется в процессе выполнения Проекта и согласуется с Заказчиком. - темновой ток при обратном напряжении 0.9 Vbr не более 8 нА, - коэффициент лавинного умножения М=20-30 - чувствительность на длине волны 1,55 мкм не менее 8 А/Вт при М=10 - граничная частота ЛФД с диаметром активной области 40 и 200 мкм не менее 4 и 0.8 ГГц, соответственно при М=10.