ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК

Полезная модель относится к плазменной технике, в частности к устройствам для генерирования низкотемпературной плазмы с использованием внешних электромагнитных полей сверхвысокой частоты, и может быть использована для проведения низкотемпературных плазмохимических процессов, а также для плазменной обработки поверхности различных материалов, в том числе биологических тканей и объектов in vivo. Плазменный источник содержит ионизационную камеру со впускным патрубком для ввода газа, ионизирующий электрод внутри ионизационной камеры и микроволновый генератор. При этом ионизирующий электрод расположен внутри ионизационной камеры и выполнен в виде разомкнутого конца внутреннего проводника жесткой коаксиальной линии, которая проходит сквозь прямоугольный волновод посередине его широких стенок, перпендикулярно к ним. А внешний проводник коаксиальной линии снабжен разрывом равным высоте узкой стенки волновода, который делит его на два патрубка, неразрывно сочлененных с волноводом, по которому проходит от микроволнового генератора электромагнитная волна основного типа колебаний Н10. На внешнем конце одного из патрубков расположена ионизационная камера, имеющая выходное отверстие, выполненное в наконечнике, снабженном внутренней полостью, образующей ионизационную камеру, которая вместе с выходным отверстием наконечника, обеспечивает выполнение условий холостого хода на разомкнутом конце внутреннего проводника жесткой коаксиальной линии. Наконец, на внешнем конце второго патрубка закреплен узел короткого замыкания, который выполнен в виде подвижного цангового сочленения с внутренним проводником. Кроме того, на конце ионизирующего электрода на всю его толщину, и вдоль оси внутреннего проводника, выполнены сквозные радиальные пропилы. При этом длина пропилов по оси равна четверти длины волны микроволнового генератора. А суммарная длина ионизирующего электрода и внутреннего проводника жесткой коаксиальной линии кратна нечетному числу четвертей длин волн микроволнового генератора. Причем ионизирующий электрод может быть выполнен в виде многоэлектродного разрядника, в котором количество электродов от четырех до шестнадцати. А в случае подачи рабочего газа непосредственно в зону разряда в ионизационную камеру по внутреннему проводнику, последний выполняют в виде полой трубки.