Генератор газоразрядной плазмы для надёжных процессов плазменной обработки

Полезная модель относится к технике получения низкотемпературной газоразрядной плазмы, в частности к устройствам генерации плазмы инертных и реакционных газов в вакуумных объемах технологических установок и может быть использовано в ионно-плазменных процессах очистки, активации, легирования поверхности изделий и ассистирования при напылении покрытий. Генератор газоразрядной плазмы для надёжных процессов плазменной обработки изделий содержит вакуумную камеру-анод (4) с размещённым на ней корпусом (3), содержащим комбинированный катод, состоящий из двух термоэмиссионных катодов (2) – основного (функционирующего) и резервного и охватывающего их полого катода (1), электрически соединенного с одним из концов каждого термоэмиссионного катода.