Кассета для облучения полупроводниковых кристаллов

Результат выполнения конструкторско-технологической работы. Полезная модель, состоит из сплошной металлической пластины - основания с ячейками в форме параллелепипеда для кристаллов и металлической крышки, которая закрывает основание, причем крышка выполнена из двух элементов, а именно тонкой крышки из алюминия толщиной 0,2-0,4 мм, покрывающей всю рабочую поверхность основания, и жесткой крышки толщиной 1-1,5 мм, не перекрывающей ячейки с кристаллами. При облучении электронами кристаллов в предлагаемой кассете электроны с низкими энергиями задерживаются материалом тонкой крышки, а электроны с энергиями 5 -10 мэВ облучают весь объем полупроводникового материала равномерно и эффектов деградации окисла не наблюдается. Алюминий выбран по причине его малого распыления электронами. Электроны с энергией 5 мэВ проникают в алюминий и кремний до глубины 9 мм, а электроны с энергией меньшей, чем 0,2-0,4 мэВ задерживаются материалом тонкой крышки и не попадают на рабочую поверхность кристаллов и не приводят к сильной деградации рабочей поверхности кристаллов. Ребра жесткости гарантируют сохранность кристаллов при транспортировке и не влияют на процесс облучения. Разработка защищена патентом РФ № 237014.