Портативное устройство генерации плазмы диэлектрического барьерного разряда для осаждения покрытий при атмосферном давлении воздуха

Многие предприятия машиностроительной, кораблестроительной и авиастроительной отраслей нуждаются в технологии быстрой обработки поверхности материалов для увеличения износостойкости и термостойкости деталей машин. Разработанная полезная модель позволит наносить износостойкие высокотемпературные покрытия из карбидных материалов плазменным методом без использования вакуумных технологий. Отсутствие вакуумной камеры позволит обрабатывать детали любых размеров и геометрии без потери качества. Также, возрастает скорость обработки благодаря уникальности конструкции устройства, работающего на основе диэлектрического барьерного разряда при атмосферном давлении. Установка состоит из двух основных частей: плазменного реактора и нагреваемого подложкодержателя. Плазменный реактор можно разделить на три системы: 1. Кварцевый реактор. Он необходим для генерации, удержания и направления плазмы. 2. Система электропитания. Она состоит из трансформатора с выходным напряжением от 3 до 7 кВ, силовых высоковольтных проводов и измерительных приборов. 3. Система подачи газов. Состоит из баллона, редуктора с ротаметром для контроля расхода газа-носителя (аргона), специально созданного испарителя (для подачи в систему паров жидкого реагента гексамелитдисилоксана) и фторопластовых шлангов. Нагреваемый подложкодержатель выполнен из нержавеющей стали марки AISI 304. Он предназначен для разогрева обрабатываемых изделий до требуемой температуры (около 600 градусов по Цельсию), что обеспечивает синтез карбидной пленки. Прогрев осуществляется тремя галогеновыми лампами каждая мощностью 1000 Вт, которые обеспечивают быстрый выход подложкодержателя на режим по сравнению с другими методами нагрева.